Ինչ էածխածնի տետրաֆտորիդ? Ո՞րն է օգուտը:
Ածխածնի տետրաֆտորիդ, որը նաև հայտնի է որպես tetrafluoromethane, համարվում է անօրգանական միացություն: Այն օգտագործվում է տարբեր ինտեգրալ սխեմաների պլազմայի փորագրման գործընթացում, ինչպես նաև օգտագործվում է որպես լազերային գազ և սառնագենտ: Այն համեմատաբար կայուն է նորմալ ջերմաստիճանի և ճնշման ներքո, սակայն անհրաժեշտ է խուսափել ուժեղ օքսիդանտների, դյուրավառ կամ այրվող նյութերի հետ շփումից: Ածխածնի տետրաֆտորիդը չայրվող գազ է։ Բարձր ջերմության բախվելու դեպքում տարայի ներքին ճնշումը կմեծանա, ճաքի ու պայթյունի վտանգ կա։ Սովորաբար այն կարող է փոխազդել միայն սենյակային ջերմաստիճանում հեղուկ ամոնիակ-նատրիումի մետաղական ռեագենտի հետ:
Ածխածնի տետրաֆտորիդներկայումս ամենամեծ պլազմային փորագրող գազն է, որն օգտագործվում է միկրոէլեկտրոնիկայի արդյունաբերության մեջ: Այն կարող է լայնորեն օգտագործվել սիլիցիումի, սիլիցիումի երկօքսիդի, ֆոսֆոսիլիկատային ապակու և այլ բարակ թաղանթային նյութերի փորագրման, էլեկտրոնային սարքերի մակերեսի մաքրման, արևային բջիջների արտադրության, լազերային տեխնոլոգիայի, գազաֆազային մեկուսացման, ցածր ջերմաստիճանի սառեցման, արտահոսքի հայտնաբերման միջոցների, իսկ տպագիր շղթայի արտադրության մեջ լվացող միջոցները մեծ թվով կիրառություններ ունեն:
Հրապարակման ժամանակը` նոյ-01-2021
