Հստակեցում | 99,999% |
Թթվածին + Արգոն | ≤1ppm |
Ազոտ | ≤4 ppm |
Խոնավություն (H2O) | ≤3 ppm |
HF | ≤0.1 ppm |
CO | ≤0.1 ppm |
CO2 | ≤1 ppm |
SF6 | ≤1 ppm |
Հալոկարբիններ | ≤1 ppm |
Ընդհանուր կեղտեր | ≤10 ppm |
Ածխածնի տետրաֆտորիդը հալոգենացված ածխաջրածին է՝ CF4 քիմիական բանաձևով:Այն կարելի է համարել որպես հալոգենացված ածխաջրածին, հալոգենացված մեթան, պերֆտորածխածին կամ որպես անօրգանական միացություն։Ածխածնի տետրաֆտորիդը անգույն և անհոտ գազ է, ջրում չլուծվող, բենզոլում և քլորոֆորմում լուծվող:Կայուն է նորմալ ջերմաստիճանի և ճնշման ներքո, խուսափեք ուժեղ օքսիդանտներից, դյուրավառ կամ այրվող նյութերից:Չայրվող գազ, բեռնարկղի ներքին ճնշումը կբարձրանա բարձր ջերմության ազդեցության դեպքում, և կա ճաքերի և պայթյունի վտանգ:Այն քիմիապես կայուն է և դյուրավառ:Միայն հեղուկ ամոնիակ-նատրիումի մետաղական ռեակտիվը կարող է աշխատել սենյակային ջերմաստիճանում:Ածխածնի տետրաֆտորիդը գազ է, որն առաջացնում է ջերմոցային էֆեկտ:Այն շատ կայուն է, կարող է երկար մնալ մթնոլորտում և շատ հզոր ջերմոցային գազ է։Ածխածնի տետրաֆտորիդն օգտագործվում է տարբեր ինտեգրալ սխեմաների պլազմայի փորագրման գործընթացում:Այն նաև օգտագործվում է որպես լազերային գազ և օգտագործվում է ցածր ջերմաստիճանի սառնագենտների, լուծիչների, քսանյութերի, մեկուսիչ նյութերի և ինֆրակարմիր դետեկտորների հովացուցիչ նյութերի մեջ:Այն միկրոէլեկտրոնիկայի արդյունաբերության մեջ ամենաշատ օգտագործվող պլազմային փորագրող գազն է:Այն տետրաֆտորմեթանի բարձր մաքրության գազի և տետրաֆտորմեթանի բարձր մաքրության գազի և բարձր մաքրության թթվածնի խառնուրդ է։Այն կարող է լայնորեն կիրառվել սիլիցիումի, սիլիցիումի երկօքսիդի, սիլիցիումի նիտրիդի և ֆոսֆոսիլիկատային ապակու մեջ։Բարակ թաղանթային նյութերի փորագրումը, ինչպիսիք են վոլֆրամը և վոլֆրամը, նույնպես լայնորեն օգտագործվում է էլեկտրոնային սարքերի մակերեսի մաքրման, արևային մարտկոցների արտադրության, լազերային տեխնոլոգիայի, ցածր ջերմաստիճանի սառեցման, արտահոսքի ստուգման և տպագիր շղթայի արտադրության մեջ լվացող միջոցների համար:Օգտագործվում է որպես ցածր ջերմաստիճանի սառնագենտի և պլազմայի չոր փորագրման տեխնոլոգիա ինտեգրալային սխեմաների համար:Պահպանման նախազգուշական միջոցներ. Պահել զով, օդափոխվող ոչ այրվող գազի պահեստում:Հեռու պահել կրակից և ջերմության աղբյուրներից:Պահպանման ջերմաստիճանը չպետք է գերազանցի 30 ° C:Այն պետք է պահվի հեշտությամբ (այրվող) այրվող նյութերից և օքսիդանտներից առանձին և խուսափեք խառը պահեստավորումից:Պահեստային տարածքը պետք է հագեցած լինի արտահոսքի վթարային բուժման սարքավորումներով:
① Սառնագենտ.
Տետրաֆտորմեթանը երբեմն օգտագործվում է որպես ցածր ջերմաստիճանի սառնագենտ:
② փորագրում.
Այն օգտագործվում է էլեկտրոնիկայի միկրոֆաբրիկացման մեջ միայնակ կամ թթվածնի հետ համատեղ՝ որպես սիլիցիումի, սիլիցիումի երկօքսիդի և սիլիցիումի նիտրիդի պլազմային փորագրիչ:
Ապրանք | Ածխածնի տետրաֆտորիդCF4 | ||
Փաթեթի չափը | 40 լիտր բալոն | 50 լիտր բալոն | |
Լրացման զուտ քաշ/գլ | 30 կգ | 38 կգ | |
QTY Բեռնված է 20' բեռնարկղում | 250 գլան | 250 գլան | |
Ընդհանուր զուտ քաշը | 7,5 տոննա | 9,5 տոննա | |
Մխոցների քաշը | 50 կգ | 55 կգ | |
Փական | CGA 580 |
①Բարձր մաքրություն, վերջին հարմարություն;
②ISO վկայագրի արտադրող;
③ Արագ առաքում;
④Անցանց վերլուծության համակարգ՝ յուրաքանչյուր քայլի որակի վերահսկման համար.
⑤Բալոնը լցնելուց առաջ մշակելու բարձր պահանջ և մանրակրկիտ գործընթաց;