ԷլեկտրոնայինՀատուկ գազերհատուկ գազերի կարեւոր ճյուղ են: Դրանք ներթափանցում են կիսահաղորդչային արտադրության գրեթե յուրաքանչյուր հղում եւ անփոխարինելի հումք են էլեկտրոնային արդյունաբերության արտադրության համար, ինչպիսիք են ծայրահեղ լայնածավալ ինտեգրված սխեմաները, հարթ վահանակի ցուցադրման սարքերը եւ արեւային բջիջները:

Կիսահաղորդչային տեխնոլոգիայում լայնորեն օգտագործվում են լյումինե պարունակող գազեր: Ներկայումս, գլոբալ էլեկտրոնային գազի շուկայում ֆտորով պարունակող էլեկտրոնային գազերը կազմում են ընդհանուրի մոտ 30% -ը: Ֆլորի պարունակող էլեկտրոնային գազերը էլեկտրոնային տեղեկատվական նյութերի բնագավառում հատուկ էլեկտրոնային գազերի կարեւոր բաղադրիչ են: Դրանք հիմնականում օգտագործվում են որպես մաքրող նյութեր եւ փորագրող նյութեր, եւ այս հոդվածում կարող են օգտագործվել նաեւ որպես դոպենտներ, կինոնկարի ձեւավորման նյութեր եւ այլն:

Հետեւյալը սովորաբար օգտագործվում են ֆտոր պարունակող գազեր

Ազոտի տրիֆլորիդ (NF3). Ավանդների մաքրման եւ հեռացման համար օգտագործվող գազ, որը սովորաբար օգտագործվում է ռեակցիայի պալատների եւ սարքավորումների մակերեսների մաքրման համար:

Ծծումբ Hexafluoride (SF6)Լյումինենացնող միջոց, որն օգտագործվում է օքսիդի դեպոզիտային գործընթացներում եւ որպես մեկուսիչ գազ, մեկուսիչ լրատվամիջոցները լրացնելու համար:

Hydengen Fluoride (HF). Օգտագործվում է սիլիկոնային մակերեւույթից օքսիդները հեռացնելու եւ որպես սիլիկոն եւ այլ նյութեր ներխուժելու համար:

Ազոտի Fluoride (NF). Օգտագործվում է այնպիսի նյութեր, ինչպիսիք են սիլիկոնային նիտրիդը (մեղքը) եւ ալյումինե նիտրիդ (Aln):

Trifluoromethane (CHF3) եւTetrafluoromethane (CF4)Օգտագործվում է ֆտորիդային նյութեր, ինչպիսիք են սիլիկոնային ֆտոր եւ ալյումինե ֆտոր:

Այնուամենայնիվ, ֆտոր պարունակող գազերը ունեն որոշակի վտանգներ, ներառյալ թունավորություն, կոռոզիիկա եւ դյուրավառություն:

Թունավորություն

Սամիթի պարունակող գազեր թունավոր են, ինչպիսիք են ջրածնի ֆտորը (HF), որի գոլորշին խիստ նյարդայնացնում է մաշկի եւ շնչառական տրակտը եւ վնասակար է մարդու առողջության համար:

Կորուստ

Hyd րածնի ֆտոր եւ ֆտորիդներ խիստ քայքայիչ են եւ կարող են լուրջ վնաս պատճառել մաշկին, աչքերին եւ շնչառական տրակտին:

Դյուրավառություն

Որոշ ֆտորիդներ դյուրավառ են եւ օդում թթվածինով կամ ջրով են արձագանքում, որպեսզի ազատեն ուժեղ ջերմային եւ թունավոր գազեր, որոնք կարող են կրակ կամ պայթյուն առաջացնել:

Բարձր ճնշման վտանգ

Որոշ ֆլակտորինացված գազեր պայթուցիկ են բարձր ճնշման տակ եւ օգտագործում եւ պահվում են հատուկ խնամք:

Ազդեցությունը շրջակա միջավայրի վրա

Ֆլորի պարունակող գազերը ունեն բարձր մթնոլորտային կյանքի եւ GWP արժեքներ, որոնք կործանարար ազդեցություն են ունենում մթնոլորտային օզոնի շերտի վրա եւ կարող են առաջացնել գլոբալ տաքացման եւ շրջակա միջավայրի աղտոտում:

Էլեկտրոնիկայի նման զարգացող ոլորտներում գազերի կիրառումը շարունակում է խորանալ, ինչը մեծ քանակությամբ նոր պահանջարկ է բերում արդյունաբերական գազերի համար: Հիմք ընդունելով հիմնական էլեկտրոնային բաղադրիչների նոր արտադրական հզորության, ինչպիսիք են մայրցամաքային Չինաստանում ցուցադրական վահանակները, ինչպես նաեւ մայրցամաքային Չինաստանում ցուցադրվում են էլեկտրոնային քիմիական նյութերի փոխարինման ուժեղ պահանջարկը, ներքին էլեկտրոնային գազի արդյունաբերությունը կներկայացնի բարձր աճի տեմպերով: