Էլեկտրոնայինհատուկ գազերհատուկ գազերի կարևոր ճյուղ են։ Դրանք թափանցում են կիսահաղորդչային արտադրության գրեթե բոլոր օղակներում և անփոխարինելի հումք են էլեկտրոնային արդյունաբերության այնպիսի արդյունաբերությունների արտադրության համար, ինչպիսիք են գերմեծածավալ ինտեգրալ սխեմաները, հարթ վահանակային էկրանները և արևային մարտկոցները։

Կիսահաղորդչային տեխնոլոգիայում ֆտոր պարունակող գազերը լայնորեն կիրառվում են: Ներկայումս համաշխարհային էլեկտրոնային գազի շուկայում ֆտոր պարունակող էլեկտրոնային գազերը կազմում են ընդհանուրի մոտ 30%-ը: Ֆտոր պարունակող էլեկտրոնային գազերը էլեկտրոնային տեղեկատվական նյութերի ոլորտում հատուկ էլեկտրոնային գազերի կարևոր բաղադրիչ են: Դրանք հիմնականում օգտագործվում են որպես մաքրող միջոցներ և փորագրող միջոցներ, ինչպես նաև կարող են օգտագործվել որպես լցոնիչներ, թաղանթ առաջացնող նյութեր և այլն: Այս հոդվածում հեղինակը ձեզ կտանի դեպի ֆտոր պարունակող տարածված գազերի հասկացողությունը:

Հետևյալը սովորաբար օգտագործվող ֆտոր պարունակող գազեր են

Ազոտի տրիֆտորիդ (NF3): Գազ, որն օգտագործվում է նստվածքները մաքրելու և հեռացնելու համար, սովորաբար օգտագործվում է ռեակցիայի խցիկների և սարքավորումների մակերեսները մաքրելու համար:

Ծծմբի հեքսաֆտորիդ (SF6)Ֆտորացնող նյութ, որն օգտագործվում է օքսիդային նստեցման գործընթացներում և որպես մեկուսիչ գազ՝ մեկուսիչ միջավայրը լցնելու համար։

Ջրածնի ֆտորիդ (HF): Օգտագործվում է սիլիցիումի մակերեսից օքսիդներ հեռացնելու և որպես փորագրող միջոց սիլիցիումի և այլ նյութերի փորագրման համար:

Ազոտի ֆտորիդ (NF): Օգտագործվում է սիլիցիումի նիտրիդի (SiN) և ալյումինի նիտրիդի (AlN) նման նյութերի փորագրման համար:

Տրիֆտորմեթան (CHF3) ևտետրաֆտորմեթան (CF4)Օգտագործվում է ֆտորային նյութերի, ինչպիսիք են սիլիցիումի ֆտորիդը և ալյումինի ֆտորիդը, փորագրման համար։

Սակայն, ֆտոր պարունակող գազերն ունեն որոշակի վտանգներ, այդ թվում՝ թունավորությունը, կոռոզիոնությունը և դյուրավառությունը։

Թունավորություն

Որոշ ֆտոր պարունակող գազեր թունավոր են, օրինակ՝ ջրածնի ֆտորը (HF), որի գոլորշիները խիստ գրգռիչ են մաշկի և շնչառական ուղիների համար և վնասակար են մարդու առողջության համար։

Կոռոզիոնություն

Ֆտորաջրածինը և որոշ ֆտորիդներ խիստ կոռոզիոն են և կարող են լուրջ վնաս հասցնել մաշկին, աչքերին և շնչառական ուղիներին։

Դյուրավառություն

Որոշ ֆտորիդներ դյուրավառ են և ռեակցիայի մեջ են մտնում օդում առկա թթվածնի կամ ջրի հետ՝ անջատելով ուժեղ ջերմություն և թունավոր գազեր, որոնք կարող են հրդեհ կամ պայթյուն առաջացնել։

Բարձր ճնշման վտանգ

Որոշ ֆտորացված գազեր պայթուցիկ են բարձր ճնշման տակ և պահանջում են հատուկ զգուշություն օգտագործման և պահպանման ժամանակ։

Ազդեցությունը շրջակա միջավայրի վրա

Ֆտոր պարունակող գազերն ունեն բարձր մթնոլորտային կյանքի տևողություն և GWP արժեքներ, որոնք կործանարար ազդեցություն ունեն մթնոլորտային օզոնային շերտի վրա և կարող են առաջացնել գլոբալ տաքացում և շրջակա միջավայրի աղտոտում։

Գազերի կիրառումը զարգացող ոլորտներում, ինչպիսին է էլեկտրոնիկան, շարունակում է խորանալ՝ առաջացնելով արդյունաբերական գազերի մեծ քանակությամբ նոր պահանջարկ։ Հիմնվելով մայրցամաքային Չինաստանում առաջիկա մի քանի տարիների ընթացքում հիմնական էլեկտրոնային բաղադրիչների, ինչպիսիք են կիսահաղորդիչները և ցուցադրման վահանակները, մեծ քանակությամբ նոր արտադրական հզորությունների, ինչպես նաև էլեկտրոնային քիմիական նյութերի ներմուծման փոխարինման մեծ պահանջարկի վրա, ներքին էլեկտրոնային գազի արդյունաբերությունը կապահովի բարձր աճի տեմպեր։