Էլեկտրոնայինհատուկ գազերհատուկ գազերի կարևոր ճյուղ են։ Նրանք ներթափանցում են կիսահաղորդիչների արտադրության գրեթե բոլոր օղակները և անփոխարինելի հումք են էլեկտրոնային արդյունաբերության արտադրության համար, ինչպիսիք են ծայրահեղ լայնածավալ ինտեգրալ սխեմաները, հարթ վահանակների ցուցադրման սարքերը և արևային մարտկոցները:

Կիսահաղորդչային տեխնոլոգիայում լայնորեն կիրառվում են ֆտոր պարունակող գազերը։ Ներկայումս էլեկտրոնային գազի համաշխարհային շուկայում ֆտոր պարունակող էլեկտրոնային գազերը կազմում են ընդհանուրի մոտ 30%-ը։ Ֆտոր պարունակող էլեկտրոնային գազերը էլեկտրոնային տեղեկատվական նյութերի ոլորտում հատուկ էլեկտրոնային գազերի կարևոր բաղադրիչն են: Դրանք հիմնականում օգտագործվում են որպես մաքրող և փորագրող նյութեր, ինչպես նաև կարող են օգտագործվել որպես ներծծող նյութեր, թաղանթ ձևավորող նյութեր և այլն: Այս հոդվածում հեղինակը ձեզ կտանի հասկանալու ֆտոր պարունակող սովորական գազերը:

Հետևյալները սովորաբար օգտագործվում են ֆտոր պարունակող գազեր

Ազոտի տրիֆտորիդ (NF3)՝ գազ, որն օգտագործվում է նստվածքները մաքրելու և հեռացնելու համար, որը սովորաբար օգտագործվում է ռեակցիայի խցիկների և սարքավորումների մակերեսների մաքրման համար:

Ծծմբի հեքսաֆտորիդ (SF6)Ֆտորացնող նյութ, որն օգտագործվում է օքսիդի նստեցման գործընթացներում և որպես մեկուսիչ գազ՝ մեկուսիչ միջավայրը լցնելու համար:

Ջրածնի ֆտորիդ (HF): Օգտագործվում է սիլիցիումի մակերևույթից օքսիդները հեռացնելու և որպես փորագրիչ սիլիցիումի և այլ նյութերի փորագրման համար:

Ազոտի ֆտորիդ (NF). Օգտագործվում է նյութեր փորագրելու համար, ինչպիսիք են սիլիցիումի նիտրիդը (SiN) և ալյումինի նիտրիդը (AlN):

Տրիֆտորմեթան (CHF3) ևտետրաֆտորմեթան (CF4)Օգտագործվում է ֆտորիդային նյութեր փորագրելու համար, ինչպիսիք են սիլիցիումի ֆտորիդը և ալյումինի ֆտորիդը:

Այնուամենայնիվ, ֆտոր պարունակող գազերն ունեն որոշակի վտանգներ, ներառյալ թունավորությունը, քայքայիչությունը և դյուրավառությունը:

Թունավորություն

Ֆտոր պարունակող որոշ գազեր թունավոր են, օրինակ՝ ֆտորաջրածինը (HF), որի գոլորշին խիստ գրգռում է մաշկը և շնչառական ուղիները և վնասակար է մարդու առողջության համար։

Քայքայիչություն

Ֆտորաջրածինը և որոշ ֆտորիդներ շատ քայքայիչ են և կարող են լուրջ վնաս հասցնել մաշկին, աչքերին և շնչառական ուղիներին:

Դյուրավառություն

Որոշ ֆտորիդներ դյուրավառ են և արձագանքում են օդի թթվածնի կամ ջրի հետ՝ արտազատելով ուժեղ ջերմություն և թունավոր գազեր, որոնք կարող են առաջացնել հրդեհ կամ պայթյուն:

Բարձր ճնշման վտանգ

Որոշ ֆտորացված գազեր պայթուցիկ են բարձր ճնշման տակ և պահանջում են հատուկ խնամք, երբ օգտագործվում և պահվում են:

Ազդեցությունը շրջակա միջավայրի վրա

Ֆտոր պարունակող գազերն ունեն բարձր մթնոլորտային կյանք և GWP արժեքներ, որոնք կործանարար ազդեցություն ունեն մթնոլորտային օզոնային շերտի վրա և կարող են առաջացնել գլոբալ տաքացում և շրջակա միջավայրի աղտոտում:

Գազերի կիրառումը զարգացող ոլորտներում, ինչպիսին է էլեկտրոնիկան, շարունակում է խորանալ՝ առաջացնելով արդյունաբերական գազերի մեծ քանակությամբ նոր պահանջարկ: Հիմնվելով մայրցամաքային Չինաստանում առաջիկա մի քանի տարիների ընթացքում հիմնական էլեկտրոնային բաղադրիչների, ինչպիսիք են կիսահաղորդիչների և ցուցադրման վահանակների նոր արտադրական հզորությունների, ինչպես նաև էլեկտրոնային քիմիական նյութերի ներմուծման փոխարինման մեծ պահանջարկի վրա՝ ներքին էլեկտրոնային գազի արդյունաբերությունը կսկսի գործել: աճի բարձր տեմպ: