Ընդհանուր ֆտոր պարունակող հատուկ էլեկտրոնային գազերը ներառում ենծծմբի հեքսաֆտորիդ (SF6)վոլֆրամի հեքսաֆտորիդ (WF6),ածխածնի տետրաֆտորիդ (CF4), տրիֆտորմեթան (CHF3), ազոտի տրիֆտորիդ (NF3), հեքսաֆտորէթան (C2F6) և օկտաֆտորոպրոպան (C3F8):
Նանոտեխնոլոգիայի զարգացման և էլեկտրոնիկայի արդյունաբերության լայնածավալ զարգացման հետ մեկտեղ նրա պահանջարկն օրեցօր կավելանա։ Ազոտի տրիֆտորիդը, որպես պանելների և կիսահաղորդիչների արտադրության և մշակման մեջ անփոխարինելի և ամենամեծ օգտագործվող հատուկ էլեկտրոնային գազ, ունի լայն շուկայական տարածք:
Որպես ֆտոր պարունակող հատուկ գազի տեսակ,ազոտի տրիֆտորիդ (NF3)շուկայական ամենամեծ հզորությամբ էլեկտրոնային հատուկ գազի արտադրանքն է: Այն քիմիապես իներտ է սենյակային ջերմաստիճանում, ավելի ակտիվ է, քան թթվածինը բարձր ջերմաստիճանում, ավելի կայուն է, քան ֆտորը և հեշտ է օգտագործել: Ազոտի տրիֆտորիդը հիմնականում օգտագործվում է որպես պլազմային փորագրող գազ և ռեակցիոն խցիկի մաքրող միջոց և հարմար է կիսահաղորդչային չիպերի, հարթ վահանակի էկրանների, օպտիկական մանրաթելերի, ֆոտոգալվանային բջիջների և այլնի արտադրության ոլորտներում:
Ֆտոր պարունակող այլ էլեկտրոնային գազերի համեմատ,ազոտի տրիֆտորիդունի արագ արձագանքման և բարձր արդյունավետության առավելությունները: Հատկապես սիլիցիում պարունակող նյութերի փորագրման ժամանակ, ինչպիսին է սիլիցիումի նիտրիդը, այն ունի փորագրման բարձր արագություն և ընտրողականություն՝ ոչ մի մնացորդ չթողնելով փորագրված առարկայի մակերեսին: Այն նաև շատ լավ մաքրող միջոց է և չունի մակերեսի աղտոտում, ինչը կարող է բավարարել մշակման գործընթացի կարիքները:
Հրապարակման ժամանակը՝ 14.09.2024
