Առավել օգտագործվում է էլեկտրոնային հատուկ գազը `ազոտի տրիֆլորիդ

Սովորական ֆտոր պարունակող հատուկ էլեկտրոնային գազերը ներառում ենԾծումբ Hexafluoride (SF6), վոլֆրամի Hexafluoride (WF6),Carbon Tetrafluoride (CF4), Trifluoromethane (CHF3), ազոտային տրիֆլորիդ (NF3), Hexafluoroethane (C2F6) եւ Octafluoropropane (C3F8):

Նանոտեխնոլոգիայի զարգացման եւ էլեկտրոնիկայի արդյունաբերության լայնածավալ զարգացումով դրա պահանջարկը օրեցօր կավելանա: Ազոտի տրիֆլորիդը, որպես անփոխարինելի եւ ամենամեծ հատուկ էլեկտրոնային գազ վահանակների եւ կիսահաղորդիչների արտադրության եւ վերամշակման մեջ, ունի շուկայի լայն տարածք:

Որպես ֆտոր պարունակող հատուկ գազ,Ազոտի տրիֆլորիդ (NF3)Գազի էլեկտրոնային հատուկ արտադրանքն է `շուկայի ամենամեծ հզորությամբ: Այն քիմիապես իներտ է սենյակային ջերմաստիճանում, ավելի ակտիվ, քան թթվածինը բարձր ջերմաստիճանում, ավելի կայուն, քան ֆտորը եւ հեշտ է կարգավորել: Ազոտային տրիֆլորիդը հիմնականում օգտագործվում է որպես պլազմային գազի գազ եւ ռեակցիայի պալատի մաքրման միջոց եւ հարմար է կիսահաղորդչային չիպսերի, հարթ վահանակի ցուցադրումների, օպտիկական մանրաթելերի, ֆոտովոլտային բջիջների արտադրական դաշտերի համար:

Համեմատած այլ ֆտոր պարունակող էլեկտրոնային գազերի հետ,ազոտների տրիֆլորիդունի արագ արձագանքման եւ բարձր արդյունավետության առավելություններ: Հատկապես սիլիկոնային նիտրիդի նման սիլիկոնային պարունակող նյութերի ներխուժումում, այն ունի բարձրորակ փոխարժեք եւ ընտրականություն, չի թողնում մնացորդային օբյեկտի մակերեսին մնացորդ: Այն նաեւ շատ լավ մաքրող միջոց է եւ չի աղտոտում մակերեսին, որը կարող է բավարարել վերամշակման գործընթացի կարիքները: