Ֆտոր պարունակող տարածված հատուկ էլեկտրոնային գազերը ներառում ենծծմբի հեքսաֆտորիդ (SF6)վոլֆրամի հեքսաֆտորիդ (WF6),ածխածնի տետրաֆտորիդ (CF4), տրիֆտորմեթան (CHF3), ազոտի տրիֆտորիդ (NF3), հեքսաֆտորէթան (C2F6) և օկտաֆտորպրոպան (C3F8):
Նանոտեխնոլոգիայի զարգացման և էլեկտրոնիկայի արդյունաբերության լայնածավալ զարգացման հետ մեկտեղ, դրա պահանջարկը օրեցօր կաճի: Ազոտի տրիֆտորիդը, որպես անփոխարինելի և ամենաշատ օգտագործվող հատուկ էլեկտրոնային գազ վահանակների և կիսահաղորդիչների արտադրության և մշակման մեջ, ունի լայն շուկայական տարածք:
Որպես ֆտոր պարունակող հատուկ գազի տեսակ,ազոտի տրիֆտորիդ (NF3)էլեկտրոնային հատուկ գազային արտադրանք է՝ ամենամեծ շուկայական տարողությամբ։ Այն քիմիապես իներտ է սենյակային ջերմաստիճանում, ավելի ակտիվ է, քան թթվածինը բարձր ջերմաստիճանում, ավելի կայուն, քան ֆտորը և հեշտ է կառավարել։ Ազոտի տրիֆտորիդը հիմնականում օգտագործվում է որպես պլազմային փորագրման գազ և ռեակցիայի խցիկի մաքրող միջոց, և հարմար է կիսահաղորդչային չիպերի, հարթ վահանակների, օպտիկական մանրաթելերի, ֆոտովոլտային մարտկոցների և այլնի արտադրության ոլորտներում։
Համեմատած այլ ֆտոր պարունակող էլեկտրոնային գազերի հետ,ազոտի տրիֆտորիդՈւնի արագ ռեակցիայի և բարձր արդյունավետության առավելություններ: Հատկապես սիլիցիում պարունակող նյութերի, ինչպիսին է սիլիցիումի նիտրիդը, փորագրման ժամանակ այն ունի բարձր փորագրման արագություն և ընտրողականություն, չթողնելով մնացորդ փորագրված առարկայի մակերեսին: Այն նաև շատ լավ մաքրող միջոց է և չի աղտոտում մակերեսը, ինչը կարող է բավարարել մշակման գործընթացի կարիքները:
Հրապարակման ժամանակը. Սեպտեմբերի 14-2024
