Մեր երկրի կիսահաղորդչային արդյունաբերության եւ վահանակների արդյունաբերությունը պահպանում է բարգավաճման բարձր մակարդակ: Ազոտի տրիֆլորիդը, որպես անփոխարինելի եւ ամենամեծ ծավալի հատուկ էլեկտրոնային գազ վահանակների եւ կիսահաղորդիչների արտադրության եւ վերամշակման մեջ, ունի շուկայի լայն տարածք:
Սովորաբար օգտագործված ֆտոր-պարունակող հատուկ էլեկտրոնային գազեր են ներառումԾծումբ Hexafluoride (SF6), վոլֆրամի Hexafluoride (WF6),Carbon Tetrafluoride (CF4), Trifluoromethane (CHF3), ազոտային տրիֆլորիդ (NF3), Hexafluoroethane (C2F6) եւ Octafluoropropane (C3F8): Ազոտային տրիֆլորիդը (NF3) հիմնականում օգտագործվում է որպես ջրածնի ֆտորիդային գազի բարձր էներգիայի քիմիական լազերների ֆտորային աղբյուր: H2-O2- ի եւ F2- ի միջեւ արձագանքման էներգիայի արդյունավետ մասը (մոտ 25%) կարելի է ազատ արձակել լազերային ճառագայթահարմամբ, ուստի HF- ի լազերները քիմիական լազերների շրջանում ամենահեռանկարային լազերներն են:
Ազոտի տրիֆլորիդը միկրոէլեկտրոնիկայի արդյունաբերության մեջ հիանալի պլազմային գազ է: Սիլիկոնային եւ սիլիկոնային նիտրիդը փորելու համար ազոտի տրիֆլորիդը ունի ավելի բարձր ժայռապատկեր եւ ընտրողականություն, քան ածխածնային Tetrafluoride- ը եւ ածխածնային տետրաֆլորիդի եւ թթվածնի խառնուրդը եւ մակերեսին աղտոտում չունի: Հատկապես 1,5 -ից պակաս հաստությամբ ինտեգրված միացումային նյութերի ներխուժում, ազոտային տրիֆլորիդը ունի շատ հիանալի փորագրման տոկոսադրույքներ եւ ընտրողականություն, չի թողնում վերգետնյա օբյեկտի մակերեսին եւ նույնպես շատ լավ մաքրող միջոց է: Նանոտեխնոլոգիայի զարգացման եւ էլեկտրոնիկայի արդյունաբերության լայնածավալ զարգացումով դրա պահանջարկը օրեցօր կավելանա:
Որպես ֆտոր պարունակող հատուկ գազ, ազոտի տրիֆլորիդը (NF3) շուկայում ամենամեծ էլեկտրոնային հատուկ գազի արտադրանքն է: Այն քիմիապես իներտ է սենյակային ջերմաստիճանում, ավելի ակտիվ, քան թթվածինը, ավելի կայուն, քան ֆտորը եւ հեշտ է կարգավորել բարձր ջերմաստիճանում:
Ազոտային տրիֆլորիդը հիմնականում օգտագործվում է որպես պլազմային ձգվող գազի եւ ռեակցիայի պալատի մաքրման միջոց, հարմար է արտադրական դաշտերի, ինչպիսիք են կիսահաղորդչային չիպսեր, տափակ պանելային ցուցադրումներ, օպտիկական մանրաթելեր, ֆոտովոլտային բջիջներ եւ այլն:
Ֆլովորի պարունակող այլ էլեկտրոնային գազերի համեմատությամբ ազոտի տրիֆլորիդը ունի արագ արձագանքման եւ բարձր արդյունավետության առավելություններ, հատկապես սիլիկոնային նիտրիդի սիլիկոնային պարունակող նյութեր, այն ունի վերափոխման գործիքի բարձր մակարդակի վրա եւ կարող է բավարար քանակությամբ մաքրող միջոց:
Փոստի ժամանակը: Dec-26-2024
