Կիսահաղորդչային վաֆլի հետագա պառակտման գործընթացում համեմատաբար առաջադեմ արտադրական գործընթացներով անհրաժեշտ է մոտ 50 տարբեր տեսակի գազեր: Գազերը հիմնականում բաժանվում են զանգվածային գազերի եւՀատուկ գազեր.

Գազերի կիրառումը միկրոէլեկտրոնիկայի եւ կիսահաղորդչային արդյունաբերություններում Գազերի օգտագործումը միշտ կարեւոր դեր է խաղացել կիսահաղորդչային գործընթացներում, հատկապես կիսահաղորդչային գործընթացները լայնորեն օգտագործվում են տարբեր արդյունաբերություններում: ULSI- ից TFT-LCD- ը ներկայիս միկրոէլեկտրամեխանիկական (MEMS) արդյունաբերության, կիսահաղորդչային գործընթացներն օգտագործվում են որպես արտադրանքի արտադրության գործընթացներ, ներառյալ չոր փորվածք, օքսիդացում, իոնների իմպլանտացիա, բարակ ֆիլմի տեղադրում եւ այլն:

Օրինակ, շատերը գիտեն, որ չիպերը ավազից պատրաստված են, բայց անհրաժեշտ են ավելի շատ նյութեր, ինչպիսիք են լուսանկարիչը, փայլեցնող հեղուկը, թիրախային նյութը եւ այլն: Back-End փաթեթավորումը պահանջում է նաեւ ենթաբաժիններ, ինտերպերներ, կապարային շրջանակներ, կապակցող նյութեր եւ այլն: Էլեկտրոնային հատուկ գազերը երկրորդ խոշոր նյութն են սիլիկոնային վաֆլիից հետո կիսահաղորդչային արտադրության ծախսերում, որին հաջորդում են դիմակներ եւ ֆոտոսեսատորներ:

Գազի մաքրությունը վճռական ազդեցություն է ունենում բաղադրիչի գործունեության եւ արտադրանքի եկամտի վրա, եւ գազի մատակարարման անվտանգությունը կապված է անձնակազմի առողջության եւ գործարանային գործունեության անվտանգության հետ: Ինչու է գազի մաքրությունը այդպիսի մեծ ազդեցություն թողարկում գործընթացի գծի եւ անձնակազմի վրա: Սա չափազանցություն չէ, բայց որոշվում է հենց գազի վտանգավոր բնութագրերով:

Կիսահաղորդչային արդյունաբերության մեջ ընդհանուր գազերի դասակարգում

Սովորական գազ

Սովորական գազը կոչվում է նաեւ զանգվածային գազ. Այն վերաբերում է արդյունաբերական գազին `5-ից ցածր եւ մեծ արտադրության եւ վաճառքի մեծ ծավալով մաքրության պահանջով: Այն կարելի է բաժանել օդի տարանջատման գազի եւ սինթետիկ գազի, ըստ նախապատրաստման տարբեր մեթոդների: Ջրածնի (H2), ազոտ (N2), թթվածին (O2), արգոն (A2) եւ այլն;

Մասնագիտացված գազ

Մասնագիտացված գազը վերաբերում է արդյունաբերական գազին, որն օգտագործվում է հատուկ ոլորտներում եւ ունի հատուկ պահանջներ մաքրության, բազմազանության եւ հատկությունների համար: ՀիմնականումSih4, PH3, B2H6, A8H3,Հլխոր, Cf4,NH3, POCL3, SIH2CL2, SIHCL3,NH3, BCL3, SIF4, CLF3, CO, C2F6, N2O, F2, HF, HBR,SF6... եւ այլն:

Սրտի գազերի տեսակները

Հատուկ գազերի տեսակները `քայքայիչ, թունավոր, դյուրավառ, այրման օժանդակ, իներտ եւ այլն:
Սովորաբար օգտագործված կիսահաղորդչային գազերը դասակարգվում են հետեւյալ կերպ.
i) քայքայիչ / թունավոր.Հլխոր, BF3, WF6, HBR, SIH2CL2, NH3, PH3, CL2,BCL3...
(ii) դյուրավառ. H2,Ch4Ոճի լինելSih4, PH3, ASH3, SIH2CL2, B2H6, CH2F2, CH3F, CO ...
(iii) այրվող. O2, CL2, N2O, NF3 ...
(iv) իներտ. N2,CF4, C2F6,C4F8Ոճի լինելSF6, CO2,NeՈճի լինելKr, Նա ...

Կիսահաղորդչային չիպերի արտադրության գործընթացում մոտ 50 տարբեր տեսակի հատուկ գազեր (որոնք կոչվում են հատուկ գազեր), օգտագործվում են օքսիդացման, դիֆուզիոն, տեղակայման, փորագրման, ներարկման, ֆոտոլիտոգրաֆիայի եւ այլ գործընթացների, եւ ընդհանուր գործընթացի ընդհանուր քայլերը գերազանցում են հարյուրավոր մարդիկ: Օրինակ, PH3- ը եւ Ash3- ը օգտագործվում են իոնային իմպլանտացիայի գործընթացում ֆոսֆոր եւ մկնդեղային աղբյուրներ, CI2, CHF3, SF6 եւ HBR- ի CI2, BCI3, N2O- ն, ֆոտոլիտոգրաֆիայի գործընթացում:

Վերոնշյալ ասպեկտներից մենք կարող ենք հասկանալ, որ շատ կիսահաղորդչային գազեր վնասակար են մարդու մարմնի համար: Մասնավորապես, մի ​​քանի գազեր, ինչպիսիք են SIH4- ը, ինքնագլուխ են: Քանի դեռ նրանք արտահոսում են, նրանք բռնի կերպով կվավերացնեն օդում թթվածնի հետ եւ կսկսեն այրվել. եւ Ash3- ը խիստ թունավոր է: Անկացած թեթեւ արտահոսք կարող է վնաս պատճառել մարդկանց կյանքին, ուստի հատուկ գազերի օգտագործման համար հսկիչ համակարգի նախագծման անվտանգության պահանջները հատկապես բարձր են:

Կիսահաղորդիչները պահանջում են բարձր մաքրության գազեր, «երեք աստիճան» ունենալու համար

Գազի մաքրություն

Գազի մեջ անմաքուր մթնոլորտի բովանդակությունը սովորաբար արտահայտվում է որպես գազի մաքրության տոկոս, ինչպիսիք են 99.9999% -ը: Ընդհանրապես, էլեկտրոնային հատուկ գազերի մաքրության պահանջը հասնում է 5n-6n- ին, եւ արտահայտվում է նաեւ կեղտաջրերի մթնոլորտային բովանդակության ծավալային հարաբերակցությունը (մի մասը `մեկ, մեկ տրիլիոն): Կիսագուշակության էլեկտրոնային դաշտը ունի ամենաբարձր պահանջները հատուկ գազերի մաքրության եւ որակի կայունության համար, եւ էլեկտրոնային հատուկ գազերի մաքրությունը, ընդհանուր առմամբ, ավելի մեծ է, քան 6n:

Չորություն

Գազի կամ խոնավության հետքի ջրի պարունակությունը սովորաբար արտահայտվում է ցողի կետում, ինչպիսիք են մթնոլորտային ցողի կետ -70 ℃:

Մաքրություն

Գազի մեջ աղտոտող մասնիկների քանակը, մկնիկի մասնիկների չափը, արտահայտվում է քանի մասնիկների / մ 3: Սեղմված օդի համար այն սովորաբար արտահայտվում է անխուսափելի պինդ մնացորդների մգ / մ 3-ում, որը ներառում է յուղի պարունակություն: