Ածխածնի տետրաֆտորիդ (CF4)

Կարճ նկարագրություն՝

Ածխածնի տետրաֆտորիդը, որը հայտնի է նաև որպես տետրաֆտորմեթան, անգույն գազ է նորմալ ջերմաստիճանում և ճնշման տակ, անլուծելի է ջրում: CF4 գազը ներկայումս միկրոէլեկտրոնիկայի արդյունաբերության մեջ ամենատարածված պլազմային փորագրման գազն է: Այն նաև օգտագործվում է որպես լազերային գազ, կրիոգեն սառնագենտ, լուծիչ, քսանյութ, մեկուսիչ նյութ և սառեցնող նյութ ինֆրակարմիր դետեկտորային խողովակների համար:

Ուղարկեք մեզ էլ. նամակ ներբեռնել pdf-ով

Ապրանքի մանրամասներ

Ապրանքի պիտակներ

Տեխնիկական պարամետրեր

Տեխնիկական բնութագրեր	99.999%
Թթվածին + Արգոն	≤1 ppm
Ազոտ	≤4 ppm
Խոնավություն (H2O)	≤3 ppm
HF	≤0.1 ppm
CO	≤0.1 ppm
CO2	≤1 ppm
SF6	≤1 ppm
Հալոկարբիններ	≤1 ppm
Ընդհանուր խառնուրդներ	≤10 ppm

Ածխածնի տետրաֆտորիդը հալոգենացված ածխաջրածին է՝ CF4 քիմիական բանաձևով: Այն կարելի է դիտարկել որպես հալոգենացված ածխաջրածին, հալոգենացված մեթան, պերֆտորածխածին կամ անօրգանական միացություն: Ածխածնի տետրաֆտորիդը անգույն և անհոտ գազ է, անլուծելի է ջրում, լուծելի է բենզոլում և քլորոֆորմում: Կայուն է նորմալ ջերմաստիճանի և ճնշման տակ, խուսափեք ուժեղ օքսիդանտներից, դյուրավառ կամ այրվող նյութերից: Չայրվող գազ է, տարայի ներքին ճնշումը կբարձրանա բարձր ջերմության ազդեցության տակ, և կա ճաքելու և պայթյունի վտանգ: Այն քիմիապես կայուն է և չայրվող: Միայն հեղուկ ամոնիակ-նատրիումի մետաղական ռեակտիվը կարող է աշխատել սենյակային ջերմաստիճանում: Ածխածնի տետրաֆտորիդը գազ է, որը առաջացնում է ջերմոցային էֆեկտ: Այն շատ կայուն է, կարող է երկար ժամանակ մնալ մթնոլորտում և շատ հզոր ջերմոցային գազ է: Ածխածնի տետրաֆտորիդը օգտագործվում է տարբեր ինտեգրալ սխեմաների պլազմային փորագրման գործընթացում: Այն նաև օգտագործվում է որպես լազերային գազ և օգտագործվում է ցածր ջերմաստիճանի սառնագենտներում, լուծիչներում, քսանյութերում, մեկուսիչ նյութերում և ինֆրակարմիր դետեկտորների սառեցնող նյութերում: Այն միկրոէլեկտրոնիկայի արդյունաբերության մեջ ամենաշատ օգտագործվող պլազմային փորագրման գազն է: Այն տետրաֆտորմեթան բարձր մաքրության գազի և տետրաֆտորմեթան բարձր մաքրության գազի ու բարձր մաքրության թթվածնի խառնուրդ է: Այն կարող է լայնորեն օգտագործվել սիլիցիումում, սիլիցիումի երկօքսիդում, սիլիցիումի նիտրիդում և ֆոսֆոսիլիկատային ապակու մեջ: Բարակ թաղանթային նյութերի, ինչպիսիք են վոլֆրամը և վոլֆրամը, փորագրումը լայնորեն կիրառվում է նաև էլեկտրոնային սարքերի մակերեսների մաքրման, արևային մարտկոցների արտադրության, լազերային տեխնոլոգիայի, ցածր ջերմաստիճանի սառնարանային պայմաններում, արտահոսքի ստուգման և տպագիր սխեմաների արտադրության մեջ լվացող միջոցների կիրառման մեջ: Օգտագործվում է որպես ցածր ջերմաստիճանի սառնագենտ և պլազմային չոր փորագրման տեխնոլոգիա ինտեգրալ սխեմաների համար: Պահպանման նախազգուշական միջոցներ. Պահել զով, օդափոխվող, չայրվող գազի պահեստում: Պահել կրակից և ջերմության աղբյուրներից հեռու: Պահպանման ջերմաստիճանը չպետք է գերազանցի 30°C-ը: Այն պետք է պահվի հեշտությամբ (այրվող) այրվող նյութերից և օքսիդանտներից առանձին և խուսափել խառը պահեստավորումից: Պահեստավորման տարածքը պետք է հագեցած լինի արտահոսքի արտակարգ բուժման սարքավորումներով:

Դիմում.

① Սառնագենտ:

Տետրաֆտորմեթանը երբեմն օգտագործվում է որպես ցածր ջերմաստիճանի սառնագենտ։

② Փորագրություն։

Այն օգտագործվում է էլեկտրոնիկայի միկրոարտադրության մեջ՝ միայնակ կամ թթվածնի հետ համատեղ՝ որպես պլազմային փորագրող՝ սիլիցիումի, սիլիցիումի երկօքսիդի և սիլիցիումի նիտրիդի համար։

Սովորական փաթեթ.

Արտադրանք	Ածխածնի տետրաֆտորիդCF4
Փաթեթի չափը	40 լիտրանոց բալոն	50 լիտրանոց բալոն
Լցման զուտ քաշը/գլան	30 կգ	38 կգ
Քանակը բեռնված է 20' տարողությամբ տարայի մեջ	250 մխոց	250 մխոց
Ընդհանուր զուտ քաշը	7.5 տոննա	9.5 տոննա
Գլանի տարայի քաշը	50 կգ	55 կգ
Փական	CGA 580