Սիլան (SiH4)

Տեխնիկական պարամետրեր

Սիլանը սիլիցիումի և ջրածնի միացություն է։ Այն ընդհանուր տերմին է մի շարք միացությունների համար, այդ թվում՝ մոնոսիլան (SiH4), դիզիլան (Si2H6) և որոշ ավելի բարձր մակարդակի սիլիցիում-ջրածնային միացություններ։ Դրանցից ամենատարածվածն է մոնոսիլանը, որը երբեմն կարճ անվանում են սիլան: Սիլանը անգույն գազ է՝ սխտորի զզվելի հոտով։ Լուծվում է ջրում, գրեթե չի լուծվում էթանոլում, եթերում, բենզոլում, քլորոֆորմում, սիլիցիումի քլորոֆորմում և սիլիցիումի տետրաքլորիդում։ Սիլանների քիմիական հատկությունները շատ ավելի ակտիվ են, քան ալկանները և հեշտությամբ օքսիդանում են։ Ինքնաբուխ այրումը կարող է առաջանալ օդի հետ շփման ժամանակ: Այն չի փոխազդում 25°C-ից ցածր ազոտի հետ, և սենյակային ջերմաստիճանում չի փոխազդում ածխաջրածնային միացությունների հետ։ Հրդեհը և սիլանի պայթյունը թթվածնի հետ ռեակցիայի արդյունք են: Սիլանը չափազանց զգայուն է թթվածնի և օդի նկատմամբ: Որոշակի կոնցենտրացիայով սիլանը նույնպես պայթուցիկ կերպով արձագանքելու է թթվածնի հետ -180°C ջերմաստիճանում։ Սիլանը դարձել է ամենակարևոր հատուկ գազը, որն օգտագործվում է կիսահաղորդչային միկրոէլեկտրոնիկայի գործընթացներում և օգտագործվում է տարբեր միկրոէլեկտրոնային թաղանթների պատրաստման մեջ, ներառյալ մեկ բյուրեղային թաղանթները, միկրոբյուրեղային, պոլիբյուրեղային, սիլիցիումի օքսիդը, սիլիցիումի նիտրիդը և մետաղական սիլիցիդները: Սիլանի միկրոէլեկտրոնային կիրառությունները դեռ խորությամբ են զարգանում՝ ցածր ջերմաստիճանի էպիտաքսիա, ընտրովի էպիտաքսիա և հետերոէպիտաքսիալ էպիտաքսիա։ Ոչ միայն սիլիցիումային սարքերի և սիլիցիումային ինտեգրալ սխեմաների, այլ նաև բարդ կիսահաղորդչային սարքերի համար (գալիումի արսենիդ, սիլիցիումի կարբիդ և այլն): Այն նաև կիրառություն ունի գերվանդակավոր քվանտային հորերի նյութերի պատրաստման մեջ։ Կարելի է ասել, որ սիլանը ժամանակակից ժամանակներում օգտագործվում է գրեթե բոլոր առաջադեմ ինտեգրալ սխեմաների արտադրության գծերում: Սիլանի կիրառումը որպես սիլիցիում պարունակող թաղանթ և ծածկույթ ընդլայնվել է ավանդական միկրոէլեկտրոնիկայի արդյունաբերությունից մինչև տարբեր ոլորտներ, ինչպիսիք են պողպատը, մեքենաները, քիմիական նյութերը և օպտիկա: Սիլանի մեկ այլ պոտենցիալ կիրառություն է բարձր արդյունավետության կերամիկական շարժիչի մասերի արտադրությունը, հատկապես սիլիցիդի (Si3N4, SiC և այլն) միկրոփոշու արտադրության համար սիլանի օգտագործումը ավելի ու ավելի մեծ ուշադրություն է գրավում:

Դիմում:

① Էլեկտրոնային.

Սիլանը կիրառվում է սիլիցիումային վաֆլիների բազմաբյուրեղ սիլիցիումի շերտերի վրա կիսահաղորդիչներ և հերմետիկներ արտադրելիս:

②Արևային.

Սիլանը օգտագործվում է արևային ֆոտոգալվանային մոդուլների արտադրության մեջ:

③ Արդյունաբերական.

Այն օգտագործվում է էներգախնայող Green Glass-ում և կիրառվում է գոլորշիների նստեցման բարակ թաղանթի գործընթացում:

Սովորական փաթեթ.

Առավելություն:

① Ավելի քան տասը տարի շուկայում;

②ISO վկայագրի արտադրող;

③ Արագ առաքում;

④ Կայուն հումքի աղբյուր;

⑤Առցանց վերլուծության համակարգ՝ յուրաքանչյուր քայլի որակի վերահսկման համար.

⑥Բալոնը լցնելուց առաջ մշակելու բարձր պահանջ և մանրակրկիտ գործընթաց;

⑦ Մաքրություն. բարձր մաքրության էլեկտրոնային դասարան;

⑧ Օգտագործում՝ արևային մարտկոցների նյութեր; բարձր մաքրության պոլիսիլիկոնի, սիլիցիումի օքսիդի և օպտիկական մանրաթելերի պատրաստում; գունավոր ապակիների արտադրություն։