Սիլան (SiH4)

Տեխնիկական պարամետրեր

Սիլանը սիլիցիումի և ջրածնի միացություն է: Այն մի շարք միացությունների ընդհանուր անվանում է, ներառյալ մոնոսիլանը (SiH4), դիսիլանը (Si2H6) և որոշ բարձր մակարդակի սիլիցիում-ջրածնի միացություններ: Դրանցից ամենատարածվածը մոնոսիլանն է, որը երբեմն կրճատ անվանում են սիլան: Սիլանը անգույն գազ է՝ սխտորի զզվելի հոտով: Լուծվում է ջրում, գրեթե անլուծելի էթանոլում, եթերում, բենզոլում, քլորոֆորմում, սիլիցիումի քլորոֆորմում և սիլիցիումի տետրաքլորիդում: Սիլանների քիմիական հատկությունները շատ ավելի ակտիվ են, քան ալկաններինը, և հեշտությամբ օքսիդանում են: Ինքնաբռնկում կարող է տեղի ունենալ օդի հետ շփման ժամանակ: Այն չի փոխազդում ազոտի հետ 25°C-ից ցածր ջերմաստիճանում և չի փոխազդում ածխաջրածնային միացությունների հետ սենյակային ջերմաստիճանում: Սիլանի հրդեհը և պայթյունը թթվածնի հետ փոխազդեցության արդյունք են: Սիլանը չափազանց զգայուն է թթվածնի և օդի նկատմամբ: Որոշակի կոնցենտրացիայով սիլանը նաև պայթուցիկ ռեակցիայի մեջ կմտնի թթվածնի հետ -180°C ջերմաստիճանում: Սիլանը դարձել է կիսահաղորդչային միկրոէլեկտրոնիկայի գործընթացներում օգտագործվող ամենակարևոր հատուկ գազը և օգտագործվում է տարբեր միկրոէլեկտրոնային թաղանթների, այդ թվում՝ միաբյուրեղային թաղանթների, միկրոբյուրեղային, պոլիբյուրեղային, սիլիցիումի օքսիդի, սիլիցիումի նիտրիդի և մետաղական սիլիցիդների պատրաստման մեջ: Սիլանի միկրոէլեկտրոնային կիրառությունները դեռևս խորը զարգացման մեջ են՝ ցածր ջերմաստիճանային էպիտաքսիա, ընտրողական էպիտաքսիա և հետերոէպիտաքսիալ էպիտաքսիա: Ոչ միայն սիլիցիումային սարքերի և սիլիցիումային ինտեգրալ սխեմաների, այլև բարդ կիսահաղորդչային սարքերի (գալիումի արսենիդ, սիլիցիումի կարբիդ և այլն) համար: Այն նաև կիրառություն ունի գերցանցային քվանտային հորատանցքերի նյութերի պատրաստման մեջ: Կարելի է ասել, որ սիլանն օգտագործվում է գրեթե բոլոր առաջադեմ ինտեգրալ սխեմաների արտադրության գծերում ժամանակակից ժամանակներում: Սիլանի՝ որպես սիլիցիում պարունակող թաղանթի և ծածկույթի կիրառումը ընդլայնվել է ավանդական միկրոէլեկտրոնիկայի արդյունաբերությունից մինչև տարբեր ոլորտներ, ինչպիսիք են պողպատը, մեքենաշինությունը, քիմիական նյութերը և օպտիկան: Սիլանի մեկ այլ հնարավոր կիրառություն է բարձր արդյունավետությամբ կերամիկական շարժիչի մասերի արտադրությունը, մասնավորապես՝ սիլանի օգտագործումը սիլիցիդ (Si3N4, SiC և այլն) արտադրելու համար։ Միկրոփոշու տեխնոլոգիան ավելի ու ավելի մեծ ուշադրություն է գրավում։

Դիմում.

① Էլեկտրոնային:

Սիլանը կիրառվում է սիլիկոնային թիթեղների վրա գտնվող պոլիբյուրեղային սիլիցիումային շերտերի վրա՝ կիսահաղորդիչներ և կնքանյութեր արտադրելիս։

②Արևային:

Սիլանը օգտագործվում է արևային ֆոտովոլտային մոդուլների արտադրության մեջ։

③ Արդյունաբերական:

Այն օգտագործվում է էներգախնայող կանաչ ապակու մեջ և կիրառվում է գոլորշիների նստեցման բարակ թաղանթային գործընթացում։

Սովորական փաթեթ.

Առավելություն՝

① Ավելի քան տասը տարի շուկայում։

②ISO վկայականի արտադրող;

③Արագ առաքում;

④ Կայուն հումքի աղբյուր;

⑤ Յուրաքանչյուր քայլում որակի վերահսկման համար նախատեսված առցանց վերլուծության համակարգ։

⑥ Բարձր պահանջներ և մանրակրկիտ գործընթաց գլանի լցոնումից առաջ մշակման համար։

⑦Մաքրություն՝ բարձր մաքրության էլեկտրոնային աստիճանի։

⑧Օգտագործում. արևային մարտկոցների նյութեր; բարձր մաքրության պոլիսիլիցիումի, սիլիցիումի օքսիդի և օպտիկական մանրաթելի արտադրություն; գունավոր ապակու արտադրություն: