Սիլանսիլիցիումի և ջրածնի միացություն է և ընդհանուր տերմին է միացությունների շարքի համար։ Սիլանը հիմնականում ներառում է մոնոսիլան (SiH4), դիզիլան (Si2H6) և որոշ ավելի բարձր մակարդակի սիլիցիումի ջրածնային միացություններ՝ SinH2n+2 ընդհանուր բանաձևով։ Այնուամենայնիվ, իրական արտադրության մեջ մենք ընդհանուր առմամբ անվանում ենք մոնոսիլան (քիմիական բանաձև SiH4) որպես «սիլան»:

Էլեկտրոնային կարգիսիլան գազհիմնականում ստացվում է սիլիցիումի փոշու, ջրածնի, սիլիցիումի քառաքլորիդի, կատալիզատորի և այլնի տարբեր ռեակցիաների թորման և մաքրման արդյունքում: 3N-ից 4N մաքրությամբ սիլանը կոչվում է արդյունաբերական կարգի, իսկ 6N-ից ավելի մաքրությամբ սիլանը կոչվում է էլեկտրոնային: դասի սիլանի գազ.

Որպես գազի աղբյուր սիլիցիումի բաղադրիչները տեղափոխելու համար,սիլան գազդարձել է կարևոր հատուկ գազ, որը չի կարող փոխարինվել սիլիցիումի շատ այլ աղբյուրներով՝ բարձր մաքրության և նուրբ վերահսկողության հասնելու ունակության պատճառով: Մոնոսիլանն առաջացնում է բյուրեղային սիլիցիում պիրոլիզի ռեակցիայի միջոցով, որը ներկայումս աշխարհում հատիկավոր մոնոբյուրեղային սիլիցիումի և բազմաբյուրեղ սիլիցիումի լայնածավալ արտադրության մեթոդներից մեկն է:

Սիլանի բնութագրերը

Սիլան (SiH4)անգույն գազ է, որը փոխազդում է օդի հետ և առաջացնում է շնչահեղձություն։ Դրա հոմանիշը սիլիցիումի հիդրիդն է։ Սիլանի քիմիական բանաձևը SiH4 է, և դրա պարունակությունը կազմում է 99,99%: Սենյակային ջերմաստիճանի և ճնշման դեպքում սիլանը գարշահոտ թունավոր գազ է: Սիլանի հալման կետը -185℃ է, իսկ եռմանը՝ -112℃։ Սենյակային ջերմաստիճանում սիլանը կայուն է, բայց երբ տաքացվի մինչև 400℃, այն ամբողջությամբ կքայքայվի գազային սիլիցիումի և ջրածնի: Սիլանը դյուրավառ է և պայթուցիկ, և այն պայթուցիկ կերպով կայրվի օդում կամ հալոգեն գազում:

Դիմումի դաշտեր

Silane-ն ունի օգտագործման լայն շրջանակ: Բացի արեգակնային մարտկոցների արտադրության ժամանակ սիլիցիումի մոլեկուլները բջջի մակերեսին կցելու ամենաարդյունավետ միջոցը լինելուց, այն նաև լայնորեն օգտագործվում է այնպիսի արտադրական գործարաններում, ինչպիսիք են կիսահաղորդիչները, հարթ վահանակների էկրանները և պատված ապակիները:

ՍիլանՍիլիցիումի աղբյուրն է քիմիական գոլորշիների նստեցման գործընթացների համար, ինչպիսիք են մեկ բյուրեղյա սիլիցիումը, պոլիբյուրեղային սիլիցիումի էպիտաքսիալ վաֆլիները, սիլիցիումի երկօքսիդը, սիլիցիումի նիտրիդը և ֆոսֆոսիլիկատային ապակին կիսահաղորդչային արդյունաբերության մեջ, և լայնորեն օգտագործվում է արևային բջիջների, սիլիցիումի պատճենահանման թմբուկների արտադրության և զարգացման մեջ: , ֆոտոէլեկտրական սենսորներ, օպտիկական մանրաթելեր և հատուկ ապակիներ։

Վերջին տարիներին սիլանների բարձր տեխնոլոգիական կիրառությունները դեռևս ի հայտ են գալիս, ներառյալ առաջադեմ կերամիկայի, կոմպոզիտային նյութերի, ֆունկցիոնալ նյութերի, կենսանյութերի, բարձր էներգիայի նյութերի և այլնի արտադրությունը՝ դառնալով բազմաթիվ նոր տեխնոլոգիաների, նոր նյութերի և նոր նյութերի հիմքը։ սարքեր.