Էլեկտրոնային հատուկ գազի ներքին փոխարինման ծրագիրը արագացվել է համակողմանիորեն։

2018 թվականին ինտեգրալ սխեմաների համար նախատեսված էլեկտրոնային գազի համաշխարհային շուկան հասել է 4.512 միլիարդ ԱՄՆ դոլարի, ինչը տարեկան 16%-ով ավելի է։ Կիսահաղորդիչների համար նախատեսված էլեկտրոնային հատուկ գազի արդյունաբերության բարձր աճի տեմպը և շուկայի հսկայական չափը արագացրել են էլեկտրոնային հատուկ գազի ներքին փոխարինման ծրագիրը։

Ի՞նչ է էլեկտրոնային գազը։

Էլեկտրոնային գազը վերաբերում է կիսահաղորդիչների, հարթ վահանակների, լուսադիոդների, արևային մարտկոցների և այլ էլեկտրոնային արտադրանքի արտադրության մեջ օգտագործվող հիմնական ելանյութին և լայնորեն կիրառվում է մաքրման, փորագրման, թաղանթի ձևավորման, լեգիրման և այլ գործընթացներում: Էլեկտրոնային գազի հիմնական կիրառման ոլորտներն են էլեկտրոնիկայի արդյունաբերությունը, արևային մարտկոցները, բջջային կապը, ավտոմեքենաների նավիգացիան և ավտոմեքենաների աուդիո և վիդեո համակարգերը, ավիատիեզերական արդյունաբերությունը, ռազմական արդյունաբերությունը և շատ այլ ոլորտներ:

Էլեկտրոնային հատուկ գազը կարելի է բաժանել յոթ կատեգորիայի՝ ըստ իր քիմիական կազմի՝ սիլիցիում, մկնդեղ, ֆոսֆոր, բոր, մետաղի հիդրիդ, հալոգենիդ և մետաղի ալկօքսիդ: Ինտեգրալ սխեմաներում կիրառման տարբեր մեթոդների համաձայն՝ այն կարելի է բաժանել դոպինգ գազի, էպիտաքսի գազի, իոնային իմպլանտացիայի գազի, լուսադիոդային գազի, փորագրման գազի, քիմիական գոլորշու նստեցման գազի և հավասարակշռման գազի: Կիսահաղորդչային արդյունաբերության մեջ օգտագործվում է ավելի քան 110 միավոր հատուկ գազ, որոնցից ավելի քան 30-ը լայնորեն օգտագործվում են:

Ընդհանուր առմամբ, կիսահաղորդիչների արտադրության արդյունաբերությունը գազերը բաժանում է երկու տեսակի՝ սովորական գազեր և հատուկ գազեր: Դրանց մեջ լայնորեն օգտագործվող գազը վերաբերում է կենտրոնացված մատակարարմանը և մեծ քանակությամբ գազի օգտագործմանը, ինչպիսիք են N2, H2, O2, Ar, He և այլն: Հատուկ գազը վերաբերում է կիսահաղորդիչների արտադրության գործընթացում օգտագործվող որոշ քիմիական գազերի, ինչպիսիք են՝ ընդլայնումը, իոնային ներարկումը, խառնումը, լվացումը և դիմակի առաջացումը, որոնք մենք այժմ անվանում ենք էլեկտրոնային հատուկ գազ, ինչպիսիք են՝ բարձր մաքրության SiH4, PH3, AsH3, B2H6, N2O, NH3, SF6, NF3, CF4, BCl3, BF3, HCl, Cl2 և այլն:

Կիսահաղորդչային արդյունաբերության ողջ արտադրական գործընթացում՝ չիպի աճեցումից մինչև սարքի վերջնական փաթեթավորումը, գրեթե յուրաքանչյուր օղակ անբաժանելի է էլեկտրոնային հատուկ գազից, օգտագործվող գազի բազմազանությունից և բարձր որակի պահանջներից, ուստի էլեկտրոնային գազն ունի կիսահաղորդչային նյութեր։ «Սնունդ»։

Վերջին տարիներին Չինաստանի հիմնական էլեկտրոնային բաղադրիչների, ինչպիսիք են կիսահաղորդիչները և դիսփլեյի վահանակները, նոր արտադրական հզորություններ են ավելացել, և կա էլեկտրոնային քիմիական նյութերի ներմուծման փոխարինման մեծ պահանջարկ։ Էլեկտրոնային գազերի տեղը կիսահաղորդչային արդյունաբերության մեջ գնալով ավելի ակնառու է դառնում։ Ներքին էլեկտրոնային գազի արդյունաբերությունը արագ աճ է գրանցելու։

Էլեկտրոնային հատուկ գազը շատ բարձր մաքրության պահանջներ ունի, քանի որ եթե մաքրությունը չի համապատասխանում պահանջներին, էլեկտրոնային հատուկ գազում պարունակվող խառնուրդների խմբերը, ինչպիսիք են ջրային գոլորշին և թթվածինը, հեշտությամբ կառաջացնեն օքսիդային թաղանթ կիսահաղորդչի մակերեսին, ինչը ազդում է էլեկտրոնային սարքերի ծառայության ժամկետի վրա, և էլեկտրոնային հատուկ գազը պարունակում է խառնուրդների մասնիկներ, որոնք կարող են առաջացնել կիսահաղորդիչների կարճ միացում և շղթայի վնասում: Կարելի է ասել, որ մաքրության բարելավումը կարևոր դեր է խաղում էլեկտրոնային սարքերի արտադրության արտադրողականության և արդյունավետության մեջ:

Կիսահաղորդչային արդյունաբերության շարունակական զարգացման հետ մեկտեղ, չիպերի արտադրության գործընթացը շարունակում է կատարելագործվել, և այժմ այն ​​հասել է 5 նմ-ի, որը մոտ է Մուրի օրենքի սահմանին, որը համարժեք է մարդու մազի տրամագծի մեկ քսաներորդ մասին (մոտ 0.1 մմ): Հետևաբար, սա նաև ավելի բարձր պահանջներ է առաջադրում կիսահաղորդիչների կողմից արտադրվող էլեկտրոնային հատուկ գազի մաքրության վերաբերյալ: