Էլեկտրոնային հատուկ գազի կենցաղային փոխարինման պլանն արագացվել է համակողմանիորեն։

2018 թվականին ինտեգրալային սխեմաների էլեկտրոնային գազի համաշխարհային շուկան հասել է 4,512 միլիարդ ԱՄՆ դոլարի՝ տարեկան կտրվածքով աճելով 16 տոկոսով։ Կիսահաղորդիչների համար էլեկտրոնային հատուկ գազի արդյունաբերության բարձր աճի տեմպերը և շուկայի հսկայական չափերը արագացրել են էլեկտրոնային հատուկ գազի ներքին փոխարինման պլանը:

Ի՞նչ է էլեկտրոնային գազը:

Էլեկտրոնային գազը վերաբերում է կիսահաղորդիչների, հարթ վահանակների, լուսադիոդների, արևային մարտկոցների և այլ էլեկտրոնային արտադրանքների արտադրության մեջ օգտագործվող հիմնական աղբյուրի նյութին և լայնորեն օգտագործվում է մաքրման, փորագրման, ֆիլմի ձևավորման, դոպինգի և այլ գործընթացներում: Էլեկտրոնային գազի հիմնական կիրառական ոլորտները ներառում են էլեկտրոնիկայի արդյունաբերությունը, արևային բջիջները, բջջային կապը, մեքենաների նավիգացիոն և ավտոմեքենաների աուդիո և վիդեո համակարգերը, օդատիեզերական, ռազմական արդյունաբերությունը և շատ այլ ոլորտներ:

Էլեկտրոնային հատուկ գազը կարելի է բաժանել յոթ կատեգորիայի՝ ըստ իր քիմիական բաղադրության՝ սիլիցիում, մկնդեղ, ֆոսֆոր, բոր, մետաղի հիդրիդ, հալոգեն և մետաղի ալկօքսիդ։ Համաձայն ինտեգրալային սխեմաներում կիրառման տարբեր մեթոդների՝ այն կարելի է բաժանել դոպինգ գազի, էպիտաքսի գազի, իոնային իմպլանտացիայի գազի, լուսարձակող դիոդային գազի, փորագրման գազի, քիմիական գոլորշիների նստեցման գազի և հավասարակշռող գազի: Կիսահաղորդչային արդյունաբերության մեջ օգտագործվում են ավելի քան 110 միավոր հատուկ գազեր, որոնցից ավելի քան 30-ը սովորաբար օգտագործվում են:

Ընդհանուր առմամբ, կիսահաղորդիչների արտադրության արդյունաբերությունը գազերը բաժանում է երկու տեսակի՝ սովորական գազերի և հատուկ գազերի: Դրանցից սովորաբար օգտագործվող գազը վերաբերում է կենտրոնացված մատակարարմանը և օգտագործում է շատ գազ, ինչպիսիք են N2, H2, O2, Ar, He և այլն: Հատուկ գազը վերաբերում է որոշ քիմիական գազերին, որոնք օգտագործվում են կիսահաղորդիչների արտադրության գործընթացում, ինչպիսիք են. ընդլայնում, իոնների ներարկում, խառնուրդ, լվացում և դիմակի ձևավորում, ինչը մենք հիմա անվանում ենք էլեկտրոնային հատուկ գազ, ինչպիսիք են բարձր մաքրության SiH4, PH3, AsH3, B2H6, N2O, NH3, SF6, NF3, CF4, BCl3, BF3, HCl, Cl2 և այլն:

Կիսահաղորդչային արդյունաբերության ողջ արտադրական գործընթացում՝ չիպերի աճից մինչև սարքի վերջնական փաթեթավորումը, գրեթե յուրաքանչյուր օղակ անբաժանելի է էլեկտրոնային հատուկ գազից և օգտագործվող գազի բազմազանությունից և բարձր որակի պահանջներից, ուստի էլեկտրոնային գազն ունի կիսահաղորդչային նյութեր: «Սնունդ».

Վերջին տարիներին Չինաստանի հիմնական էլեկտրոնային բաղադրիչները, ինչպիսիք են կիսահաղորդիչները և ցուցադրման վահանակները, աճել են նոր արտադրական հզորությամբ, և կա էլեկտրոնային քիմիական նյութերի ներմուծման փոխարինման մեծ պահանջարկ: Էլեկտրոնային գազերի դիրքը կիսահաղորդչային արդյունաբերության մեջ գնալով ավելի ակնառու է դառնում: Ներքին էլեկտրոնային գազի արդյունաբերությունը կսկսի արագ աճ:

Էլեկտրոնային հատուկ գազը մաքրության համար շատ բարձր պահանջներ ունի, քանի որ եթե մաքրությունը չի համապատասխանում պահանջներին, ապա էլեկտրոնային հատուկ գազի կեղտաջրերի խմբերը, ինչպիսիք են ջրի գոլորշին և թթվածինը, հեշտությամբ կձևավորեն օքսիդ թաղանթ կիսահաղորդչի մակերեսին, որն ազդում է էլեկտրոնային սարքերի ծառայության ժամկետը, իսկ էլեկտրոնային հատուկ գազը պարունակում է կեղտերի մասնիկները կարող են առաջացնել կիսահաղորդչային կարճ միացումներ և շղթայի վնաս: Կարելի է ասել, որ մաքրության բարելավումը կենսական դեր է խաղում էլեկտրոնային սարքերի արտադրության և արտադրողականության մեջ:

Կիսահաղորդչային արդյունաբերության շարունակական զարգացմամբ չիպերի արտադրության գործընթացը շարունակում է բարելավվել, և այժմ այն ​​հասել է 5 նմ-ի, որը մոտենում է Մուրի օրենքի սահմանին, որը համարժեք է մարդու մազի տրամագծի մեկ քսաներորդին ( մոտ 0,1 մմ): Հետևաբար, սա նաև ավելի բարձր պահանջներ է առաջադրում կիսահաղորդիչների կողմից արտադրվող էլեկտրոնային հատուկ գազի մաքրության վերաբերյալ: