Էլեկտրոնային հատուկ գազի ներքին փոխարինող պլանը արագացվել է համակողմանի ձեւով:

2018-ին ինտեգրված սխեմաների գլոբալ էլեկտրոնային շուկան հասավ 4,512 միլիարդ ԱՄՆ դոլարի, տարեկան 16% -ով: Կիսահաղորդիչների էլեկտրոնային հատուկ գազի արդյունաբերության բարձր աճի տեմպը եւ շուկայի հսկայական չափսերը արագացրել են էլեկտրոնային հատուկ գազի ներքին փոխարինող պլանը:

Ինչ է էլեկտրոնը գազը:

Էլեկտրոնային գազը վերաբերում է հիմնական աղբյուրի նյութին, որն օգտագործվում է կիսահաղորդիչների, հարթ վահանակի ցուցադրումների, արեւային բջիջների, արեւային բջիջների եւ այլ էլեկտրոնային արտադրանքների արտադրության մեջ եւ լայնորեն օգտագործվում է մաքրելու, փորագրման, կինոյի ձեւավորման, դոպինգի եւ այլ գործընթացների մեջ: Էլեկտրոնային գազի հիմնական դիմումի ոլորտները ներառում են էլեկտրոնիկայի արդյունաբերությունը, արեւային բջիջները, շարժական հաղորդակցությունը, ավտոմեքենաների նավարկությունը եւ ավտոմեքենաների աուդիո եւ վիդեո համակարգերը, օդատիեզերական, ռազմական արդյունաբերությունը եւ շատ այլ ոլորտներ:

Էլեկտրոնային հատուկ գազը կարելի է բաժանել յոթ կատեգորիայի, ըստ իր քիմիական կազմի, սիլիկոն, մկնդեղ, ֆոսֆոր, բոր, մետաղական հիդրոդ, հալիդե եւ մետաղական ալկոսիդ: Ինտեգրված սխեմաների կիրառման տարբեր մեթոդների համաձայն, այն կարելի է բաժանել բենզալ գազի, էպիտաքսի գազի, իոնների իմպլանտացիայի գազի, թեթեւ արտանետող դիոդի գազի, գազի, քիմիական գոլորշի տեղակայման գազի եւ հավասարակշռության գազի: Կիսահաղորդչային արդյունաբերության մեջ կան ավելի քան 110 միավոր, որոնք օգտագործվում են կիսահաղորդչային արդյունաբերության մեջ, որոնցից ավելի քան 30-ը սովորաբար օգտագործվում են:

Ընդհանրապես, կիսահաղորդչային արտադրության արդյունաբերությունը գազերը բաժանում է երկու տեսակի, ընդհանուր գազեր եւ հատուկ գազեր: Նրանց թվում, սովորաբար օգտագործվող գազը վերաբերում է կենտրոնացված մատակարարմանը եւ օգտագործում է շատ գազ, ինչպիսիք են N2, H2- ը, O2- ը, նա եւ այլն: NH3, SF6, NF3, CF4, BCL3, BF3, HCL, CL2 եւ այլն:

Կիսահաղորդչային արդյունաբերության արտադրության ամբողջ գործընթացում չիպի աճից մինչեւ վերջնական սարքի փաթեթավորում, գրեթե յուրաքանչյուր հղում անբաժան է էլեկտրոնային հատուկ գազից, եւ օգտագործվող գազի բազմազանությունը, ուստի էլեկտրոնային գազը ունի կիսահաղորդչային նյութեր: «Սնունդ»:

Վերջին տարիներին Չինաստանի գլխավոր էլեկտրոնային բաղադրիչները, ինչպիսիք են կիսահաղորդիչները եւ ցուցադրման վահանակներն աճել են արտադրական նոր կարողությունների մեջ, եւ կա էլեկտրոնային քիմիական նյութերի ներմուծման փոխարինման ուժեղ պահանջարկ: Կիսահաղորդչային արդյունաբերության մեջ էլեկտրոնային գազերի դիրքը ավելի ու ավելի է դարձել: Ներքին էլեկտրոնային գազի արդյունաբերությունը կզղվի արագ աճի:

Էլեկտրոնային հատուկ գազը մաքրության համար շատ բարձր պահանջներ ունի, քանի որ եթե մաքրությունը կախված չէ պահանջներին, ապա ջրի գոլորշիով եւ էլեկտրոնային հատուկ գազով թթվածին հեշտությամբ կդիտարկվի օքսիդի կինոնկարը, եւ էլեկտրոնային հատուկ գազը պարունակում է կիսահաղորդիչների մասնիկներ: Կարելի է ասել, որ մաքրության բարելավումը կարեւոր դեր է խաղում էլեկտրոնային սարքի արտադրության եկամտաբերության եւ գործունեության մեջ:

Կիսահաղորդչային արդյունաբերության շարունակական զարգացումով չիպի արտադրության գործընթացը շարունակում է բարելավվել, եւ այժմ այն ​​հասել է 5nm- ի, որը պատրաստվում է մոտենալ Մուրի օրենքի սահմանին (մոտ 0,1 մմ): Հետեւաբար, սա նաեւ ավելի բարձր պահանջներ է ներկայացնում կիսահաղորդիչների կողմից արտադրված էլեկտրոնային հատուկ գազի մաքրության վերաբերյալ: