Ջրածնի քլորիդանգույն գազ է՝ սուր հոտով։ Դրա ջրային լուծույթը կոչվում է աղաթթու, որը հայտնի է նաև որպես աղաթթու։ Ջրածնի քլորիդը շատ լուծելի է ջրում։ 0°C ջերմաստիճանում ջրի 1 ծավալը կարող է լուծել մոտ 500 ծավալ ջրածնի քլորիդ։

Այն ունի հետևյալ հատկություններն ու բնութագրերը.

1. Բարձր մաքրություն

Էլեկտրոնային որակի մաքրությունըջրածնի քլորիդշատ բարձր է, սովորաբար ppm կամ ավելի ցածր մակարդակ, որպեսզի ապահովվի, որ կիսահաղորդիչների արտադրության գործընթացում խառնուրդներ չներմուծվեն։

2. Իներցիա

Այն քիմիապես իներտ գազ է, որը չի փոխազդում շատ այլ նյութերի հետ, ինչը շատ կարևոր է կիսահաղորդչային նյութերի և սարքավորումների աղտոտումը կանխելու համար։

3. Բարձր կայունություն

Էլեկտրոնային դասարանջրածնի քլորիդընդհանուր առմամբ ունի կայուն քիմիական բաղադրություն՝ հուսալի կիսահաղորդչային մշակում ապահովելու համար։

Կիսահաղորդչային մշակման մեջ էլեկտրոնային որակի ջրածնի քլորիդի հիմնական կիրառությունները ներառում են.

1. Մակերեսի մաքրում և նախապատրաստում

Որպես արդյունավետ մակերեսային մաքրող միջոց, էլեկտրոնային կարգիջրածնի քլորիդօգտագործվում է հիմքի մակերևույթից օքսիդներ և խառնուրդներ հեռացնելու համար՝ էպիտաքսիալ շերտի կամ թաղանթի որակը և մաքրությունն ապահովելու համար։

2. Էպիտաքսիալ աճի օգնություն

Էպիտաքսիալ գործընթացում որպես մակերեսային մշակման միջոց օգտագործվելով՝ այն նպաստում է էպիտաքսիալ շերտի որակի բարելավմանը, ցանցի համապատասխանեցմանը և ցանցի արատների առաջացման նվազեցմանը։

3. Հիմքի նախնական մշակում

Մինչև կիսահաղորդչային սարքերի պատրաստումը, էլեկտրոնային կարգըջրածնի քլորիդկարող է օգտագործվել հիմքի մակերեսը մշակելու համար՝ կայուն հիմք ձևավորելու համար՝ էպիտաքսիալ շերտի և հիմքի միջև կպչունությունը բարելավելու համար։

4. Նստեցման օժանդակ միջոց

Քիմիական գոլորշու նստեցման (ՔԳՆ) կամ ֆիզիկական գոլորշու նստեցման (ՖՖՆ) գործընթացում էլեկտրոնային կարգի ջրածնի քլորիդը կարող է օգտագործվել որպես գազային փուլի փոխանցման միջավայր՝ կիսահաղորդչային նյութերի նստեցման ռեակցիային մասնակցելու համար։

5. Գազային փուլի փոխանցման նյութ

Որպես գազային փուլի փոխանցման միջոց, ռեակցիայի խցիկ են ներմուծվում այլ գազային նախորդներ՝ նյութի նստեցման արագությունը և միատարրությունը կարգավորելու համար։

Այս բնութագրերը դարձնում են էլեկտրոնային տարբերակըջրածնի քլորիդկիսահաղորդչային տեխնոլոգիայի կարևոր մշակման միջոց, որը կարևոր ազդեցություն ունի վերջնական սարքի աշխատանքի և հուսալիության վրա։

Բացի կիսահաղորդիչների մշակման մեջ կիրառումից, էլեկտրոնային կարգի ջրածնի քլորիդը կարող է բազմազան կիրառություններ գտնել այլ ոլորտներում, այդ թվում՝ բարձր մաքրության նյութերի պատրաստում, վառելիքային բջիջներ, կիսահաղորդչային նյութերի աճեցում, գոլորշու փուլային լիտոգրաֆիա, նյութերի վերլուծություն, քիմիական հետազոտություններ:

Ընդհանուր առմամբ, էլեկտրոնային դասարանջրածնի քլորիդբազմակողմանի, բարձր մաքրության գազ է, որն ունի լայն կիրառություն կիսահաղորդչային արտադրությունից դուրս։