Ջրածնի քլորիդանգույն գազ է `խիտ հոտով: Դրա ջրային լուծումը կոչվում է հիդրոքլորաթթու, որը նաեւ հայտնի է որպես հիդրոքլորաթթու: Ջրածնի քլորիդը ջրի մեջ շատ լուծելի է: 0 ° C ջերմաստիճանում 1 հատ ջրի քանակը կարող է լուծարել ջրածնի քլորիդի մոտ 500 հատոր:

Այն ունի հետեւյալ հատկությունները եւ բնութագրերը.

1. Բարձր մաքրություն

Էլեկտրոնային դասարանի մաքրությունըջրածնի քլորիդՇատ բարձր է, սովորաբար PPM- ում կամ ցածր մակարդակում, որպեսզի ոչ մի կեղտաջրեր ներկայացվեն կիսահաղորդչային արտադրության գործընթացին:

2-ը: Իներտություն

Այն քիմիապես իներտ գազ է, որը չի արձագանքում շատ այլ նյութերի հետ, ինչը շատ կարեւոր է կիսահաղորդչային նյութերի եւ սարքավորումների աղտոտումը կանխելու համար:

3. Բարձր կայունություն

Էլեկտրոնային դասարանջրածնի քլորիդԸնդհանրապես, կայուն քիմիա ունի `հուսալի կիսահաղորդչային մշակումն ապահովելու համար:

Կիսահաղորդչային վերամշակման դեպքում էլեկտրոնային դասարանի ջրածնի քլորիդի հիմնական դիմումները ներառում են.

1. Մակերեւութային մաքրում եւ պատրաստում

Որպես արդյունավետ մակերեսի մաքրող, էլեկտրոնային դասարանջրածնի քլորիդօգտագործվում է սուբստրատի մակերեւույթից օքսիդներն ու կեղտերը հեռացնելու համար `էպիտաքսային շերտի կամ ֆիլմի որակը եւ մաքրությունը ապահովելու համար:

2. epitaxial աճի օգնություն

Օգտագործվում է որպես մակերեւույթի մաքրման միջոց էպիթաքսային գործընթացում, այն օգնում է բարելավել էպիտաքսային շերտի որակը, բարելավել վանդակավոր համընկնումը եւ նվազեցնել վանդակավոր թերությունների ձեւավորումը:

3: Ենթաբաժինների նախադրյալներ

Կիսահաղորդչային սարքերի պատրաստումից առաջ, էլեկտրոնային դասարանջրածնի քլորիդԿարող է օգտագործվել substrate մակերեսը բուժելու համար `կայուն հիմք ձեւավորելու համար` սոսնձումը բարելավելու համար `էպիտաքսային շերտի եւ ենթաշերտի միջեւ:

4. Դեպի օժանդակ գործակալ

Քիմիական գոլորշիների կեռադրության (CVD) կամ ֆիզիկական գոլորշիների դեպոզիտ (PVD), էլեկտրոնային դասարանի ջրածնի քլորիդը կարող է օգտագործվել որպես գազի փուլային փոխանցում Միջին, մասնակցելու կիսահաղորդչային նյութերի տեղակայման արձագանքին:

5. Գազաֆազ փոխանցման գործակալ

Որպես գազաբաժնի փոխանցման գործակալ, գազի այլ պրեմուրտորներ ներկայացված են արձագանքման պալատի մեջ `օգնելու կարգավորել նյութի ավանդադրման տոկոսադրույքը եւ միատեսակությունը:

Այս բնութագրերը կազմում են էլեկտրոնային դասարանջրածնի քլորիդԿիսահաղորդչային տեխնոլոգիայի կարեւոր վերամշակման միջոց, որն առանցքային ազդեցություն է ունենում վերջնական սարքի կատարման եւ հուսալիության վրա:

Կիսահաղորդչային վերամշակման մեջ դրա օգտագործումը, էլեկտրոնային դասարանի ջրածնի քլորիդը կարող է գտնել մի շարք օգտագործումներ այլ ոլորտներում, ներառյալ `բարձր մաքրության նյութերի, վառելիքի բջիջների, կեռական հետազոտությունների պատրաստում:

Ընդհանուր առմամբ, էլեկտրոնային դասարանջրածնի քլորիդբազմակողմանի, բարձր մաքրության գազ է, որն ունի լայնածավալ դիմումների, կիսահաղորդչային Արտադրությունից դուրս: