Լազերային գազ

Լազերային գազը հիմնականում օգտագործվում է էլեկտրոնիկայի արդյունաբերության մեջ լազերային թրծման և լիտոգրաֆիկ գազի համար: Բջջային հեռախոսների էկրանների նորարարությունից և կիրառման ոլորտների ընդլայնումից օգտվելով՝ ցածր ջերմաստիճանի պոլիսիլիցիումի շուկայի մասշտաբները կընդլայնվեն, և լազերային թրծման գործընթացը զգալիորեն բարելավել է TFT-ների աշխատանքը: Կիսահաղորդիչների արտադրության համար ArF էքսիմեր լազերում օգտագործվող նեոնային, ֆտորային և արգոնային գազերի շարքում նեոնը կազմում է լազերային գազի խառնուրդի ավելի քան 96%-ը: Կիսահաղորդչային տեխնոլոգիայի կատարելագործման հետ մեկտեղ, էքսիմեր լազերների օգտագործումը մեծացել է, և կրկնակի էքսպոզիցիայի տեխնոլոգիայի ներդրումը հանգեցրել է ArF էքսիմեր լազերների կողմից սպառվող նեոնային գազի պահանջարկի կտրուկ աճի: Էլեկտրոնային մասնագիտացված գազերի տեղայնացման խթանումից օգտվելով՝ տեղական արտադրողները ապագայում ավելի լավ շուկայական աճի տարածք կունենան:

Լիտոգրաֆիկ մեքենան կիսահաղորդչային արտադրության հիմնական սարքավորումն է: Լիտոգրաֆիան որոշում է տրանզիստորների չափը: Լիտոգրաֆիկ արդյունաբերության շղթայի համակարգված զարգացումը լիտոգրաֆիկ մեքենաների առաջընթացի բանալին է: Համապատասխան կիսահաղորդչային նյութերը, ինչպիսիք են լուսառեզիստը, լուսանկարչական լիտոգրաֆիկ գազը, լուսադիմակը և ծածկույթների ու զարգացման սարքավորումները, ունեն բարձր տեխնոլոգիական բովանդակություն: Լիտոգրաֆիկ գազը այն գազն է, որը լիտոգրաֆիկ մեքենան արտադրում է խորը ուլտրամանուշակագույն լազեր: Տարբեր լիտոգրաֆիկ գազեր կարող են արտադրել տարբեր ալիքի երկարության լույսի աղբյուրներ, և դրանց ալիքի երկարությունը ուղղակիորեն ազդում է լիտոգրաֆիկ մեքենայի լուծաչափի վրա, որը լիտոգրաֆիկ մեքենայի միջուկներից մեկն է: 2020 թվականին լիտոգրաֆիկ մեքենաների ընդհանուր համաշխարհային վաճառքը կկազմի 413 միավոր, որից ASML վաճառքը՝ 258 միավոր, կազմում է 62%-ը, Canon վաճառքը՝ 122 միավոր, կազմում է 30%-ը, իսկ Nikon վաճառքը՝ 33 միավոր, կազմում է 8%-ը: