Լազերային գազ

Լազերային գազը հիմնականում օգտագործվում է էլեկտրոնիկայի արդյունաբերության լազերային կռելու և լիտոգրաֆիկ գազի համար: Օգտվելով բջջային հեռախոսների էկրանների նորամուծությունից և կիրառական տարածքների ընդլայնումից՝ ցածր ջերմաստիճանի պոլիսիլիկոնային շուկայի մասշտաբները հետագայում կընդլայնվեն, իսկ լազերային եռացման գործընթացը զգալիորեն բարելավել է TFT-ների աշխատանքը: Նեոն, ֆտոր և արգոն գազեր, որոնք օգտագործվում են ArF էքսիմեր լազերում՝ կիսահաղորդիչների արտադրության համար, նեոնը կազմում է լազերային գազային խառնուրդի ավելի քան 96%-ը: Կիսահաղորդչային տեխնոլոգիայի կատարելագործմամբ ավելացել է էքսիմերային լազերների օգտագործումը, իսկ կրկնակի ազդեցության տեխնոլոգիայի ներդրումը հանգեցրել է ArF էքսիմեր լազերների կողմից սպառվող նեոնային գազի պահանջարկի կտրուկ աճի: Օգտվելով էլեկտրոնային մասնագիտացված գազերի տեղայնացման խթանումից՝ հայրենական արտադրողները ապագայում շուկայի աճի ավելի լավ տարածք կունենան:

Լիտոգրաֆիայի մեքենան կիսահաղորդիչների արտադրության հիմնական սարքավորումն է: Լիտոգրաֆիան սահմանում է տրանզիստորների չափերը: Լիտոգրաֆիայի արդյունաբերության շղթայի համակարգված զարգացումը լիտոգրաֆիայի մեքենայի բեկման բանալին է: Համապատասխան կիսահաղորդչային նյութերը, ինչպիսիք են ֆոտոդիմացկունը, ֆոտոլիտոգրաֆիկ գազը, ֆոտոդիմակը և ծածկույթի և մշակման սարքավորումները, ունեն բարձր տեխնոլոգիական պարունակություն: Լիտոգրաֆիկ գազն այն գազն է, որը լիտոգրաֆիայի մեքենան առաջացնում է խորը ուլտրամանուշակագույն լազեր: Լիտոգրաֆիայի տարբեր գազերը կարող են առաջացնել տարբեր ալիքի երկարության լույսի աղբյուրներ, և դրանց ալիքի երկարությունը ուղղակիորեն ազդում է լիտոգրաֆիայի մեքենայի լուծման վրա, որը լիտոգրաֆիայի մեքենայի միջուկներից մեկն է: 2020 թվականին լիտոգրաֆիայի մեքենաների համաշխարհային վաճառքի ընդհանուր ծավալը կկազմի 413 միավոր, որից ASML վաճառքի 258 միավորը կազմել է 62%, Canon-ի 122 միավորը կազմել է 30%, իսկ Nikon վաճառքի 33 միավորը կազմել է 8%։