Բորի տրիքլորիդ (BCl3)անօրգանական միացություն է, որը լայնորեն օգտագործվում է կիսահաղորդիչների արտադրության չոր փորագրման և քիմիական գոլորշու նստեցման (CVD) գործընթացներում: Այն անգույն գազ է՝ սենյակային ջերմաստիճանում ուժեղ, կծու հոտով և զգայուն է խոնավ օդի նկատմամբ, քանի որ հիդրոլիզվում է՝ առաջացնելով աղաթթու և բորաթթու:

Բորի տրիխլորիդի կիրառությունները

Կիսահաղորդչային արդյունաբերության մեջ,Բորի տրիքլորիդՀիմնականում օգտագործվում է ալյումինի չոր փորագրման համար և որպես լցանյութ՝ սիլիցիումային թիթեղների վրա P-տիպի շրջաններ ձևավորելու համար: Այն կարող է նաև օգտագործվել GaAs, Si, AlN նման նյութերի փորագրման համար, ինչպես նաև որպես բորի աղբյուր որոշակի կոնկրետ կիրառություններում: Բացի այդ, բորի եռքլորիդը լայնորեն կիրառվում է մետաղամշակման, ապակու արդյունաբերության, քիմիական վերլուծության և լաբորատոր հետազոտությունների մեջ:

Բորի տրիխլորիդի անվտանգությունը

Բորի տրիքլորիդքայքայիչ և թունավոր է և կարող է լուրջ վնաս հասցնել աչքերին և մաշկին։ Այն հիդրոլիզվում է խոնավ օդում՝ արտանետելով թունավոր ջրածնի քլորիդ գազ։ Հետևաբար, դրա հետ աշխատելիս անհրաժեշտ է ձեռնարկել համապատասխան անվտանգության միջոցառումներ։Բորի տրիքլորիդ, այդ թվում՝ պաշտպանիչ հագուստ, ակնոցներ և շնչառական պաշտպանության միջոցներ կրելը, ինչպես նաև լավ օդափոխվող միջավայրում աշխատելը։